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在單色光成像中，常用的光源包括激光器，它們能夠產(chǎn)生高純度、高亮度的單色光。通過(guò)使用適當(dāng)?shù)墓鈱W(xué)系統(tǒng)和圖像處理技術(shù)，可以對(duì)單色光進(jìn)行精確的控制和處理，從而實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量的成像效果。

斜入射光柵單色器采用斜入射式結(jié)構(gòu)，利?平面光柵進(jìn)行分光，具有較高的傳輸效率，同時(shí)對(duì)光譜脈沖寬度展寬較小，可以實(shí)現(xiàn)點(diǎn)到點(diǎn)的單色光成像。主要用于極紫外波段的光譜測(cè)量和分光實(shí)驗(yàn)。

真空紫外分光光度計(jì)是一種專用于真空紫外波段的光譜分析儀器，通過(guò)高真空或惰性氣體環(huán)境（避免氧氣、水蒸氣吸收干擾）實(shí)現(xiàn)深紫外光的精準(zhǔn)測(cè)量。

采用像差校正超環(huán)面光柵進(jìn)行衍射分光，可以在較寬光譜范圍內(nèi)保證高的光譜分辨和光通量。 通過(guò)選配不同的光柵型號(hào)，可以實(shí)現(xiàn)10-300nm范圍的光譜覆蓋。